گاز خالص به گازی گفته می شود که مقدار ناخالصی موجود در آن از ۰.۰۱ درصد حجمی یا ۱۰۰ppm فراتر نرود. هرچه قدر مقدار ناخالصی در گازها کمتر باشد، هزینه خرید آن ها بیشتر است. تمامی گازها در زمان تولید می بایست یک گواهی آنالیز همراه خود داشته باشند.